UFABC-professores

Michel Oliveira da Silva Dantas

Possui graduação em Materiais Processos e Componentes Eletrônicos pela Faculdade de Tecnologia de São Paulo (2000), mestrado e doutorado em Engenharia Elétrica pela Universidade de São Paulo (2003 e 2008 respectivamente). Atualmente é professor adjunto da Universidade Federal do ABC. Tem experiência na área de Engenharia Elétrica, com ênfase em Materiais e Componentes Semicondutores, atuando principalmente nos seguintes temas: MEMS, desenvolvimento de sensores baseados em dispositivos emissores de elétrons por efeito de campo elétrico (FE - Field emission devices) e nanotubos de carbono. (Texto informado pelo autor)

http://lattes.cnpq.br/7191307491043173 (17/02/2023)

Rótulo/Grupo: CECS

Bolsa CNPq:

Período de análise: 2009-HOJE

Endereço: Universidade Federal do ABC, Centro de Engenharia, Modelagem e Ciências Sociais Aplicadas. Rua Santa Adélia, 166, 6 andar, Torre 1, sala 714-1 Bangú 09210170 - Santo André, SP - Brasil Telefone: (11) 49968262 URL da Homepage: http://www.ufabc.edu.br

Grande área: Engenharias

Área: Engenharia Elétrica

Citações: Google Acadêmico

Produção bibliográfica

Artigos completos publicados em periódicos (6)
1. HAYASHI, V. T. ; SPARVOLI, M. ; DANTAS, M. O. S.. LabEAD: Percepções de Discentes sobre Experimento Remoto de Eletrônica Analógica durante o Distanciamento Social. REVISTA TECNOLOGIAS NA EDUCAÇÃO. v. 33, p. 1-21, issn: 1984-4751, 2020.
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2. KOPELVSKI, MAYCON ; SILVA, WELLINGTON ; GALEAZZO, ELISABETE ; Criado, Denise ; DANTAS, MICHEL OLIVEIRA DA SILVA ; PERES, HENRIQUE ; ZUNIGA, ALEJANDRO. ZnO Nanowire-Based Field Emission Devices Through a Microelectronic Compatible Route. JICS. JOURNAL OF INTEGRATED CIRCUITS AND SYSTEMS (ED. PORTUGUÊS). v. 15, p. 1-6, issn: 1872-0234, 2020.
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3. PERES, H. E. M. ; GALEAZZO, E. ; DANTAS, M. O. S. ; Beccaro, W. ; FILBRICH, G. P. ; FERNANDEZ, F. J. R.. Evaluation of the Electrical Resistance Response of Insulating Glass Surface to Sense and Classify Humidity and VOCs Vapors. IEEE SENSORS JOURNAL. v. 18, p. 3940-3945, issn: 1530-437X, 2018.
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4. Kopelvski, Maycon M. ; GALEAZZO, E. ; PERES, H. E. M. ; FERNANDEZ, F. J. R. ; SILVA, D. A. C. ; DANTAS, M. O. S.. Characterization system based on image mapping for field emission devices. Measurement (London. Print). v. 93, p. 208-214, issn: 0263-2241, 2016.
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5. GALEAZZO, E. ; MORAES, M. C. ; PERES, H. E. M. ; DANTAS, M. O. S. ; LOBO, V. G. C. ; FERNANDEZ, F. J. R.. MWCNT Devices Fabricated by Dielectrophoresis: Study of Their Electrical Behavior Related to Deposited Nanotube Amount for Gas Sensing Applications. JICS. Journal of Integrated Circuits and Systems (Ed. Português). v. 10, p. 13-20, issn: 1807-1953, 2015.
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6. DANTAS, M. O. S.; GALEAZZO, Elisabete ; Peres, Henrique E. M. ; FERNANDEZ, Francisco Javier Ramirez ; DINIZ, E. C. ; CASTRO, R. R.. Deposition of carbon nanotubes for field emission application. ECS transactions. v. 23, p. 135-141, issn: 1938-5862, 2009.
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Livros publicados/organizados ou edições (0)
Capítulos de livros publicados (0)
Textos em jornais de notícias/revistas (0)
Trabalhos completos publicados em anais de congressos (10)
1. DANTAS, MICHEL O. S. ; SOUZA, DENISE C. P. ; ZUNIGA-PAEZ, ALEJANDRO A. ; SILVA, WELLINGTON A. A. ; GALEAZZO, ELISABETE ; PERES, HENRIQUE E. M. ; KOPELVSKI, MAYCON M.. ZnO Nanowires Growth from Thin Zinc Films for Field Emission Purposes. Em: 2019 34th Symposium on Microelectronics Technology and Devices (SBMicro), p. 1, 2019.
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2. Peres, Henrique E. M. ; GALEAZZO, Elisabete ; Dantas, Michel O. S. ; SPARVOLI, MARINA ; SANTOS, FRANCISLEI S. A. ; FALLA, MARIA P. H.. Miniaturized Gas Sensor Platform for Selective Vapors Detection at Room Temperature. Em: 2019 34th Symposium on Microelectronics Technology and Devices (SBMicro), p. 1, 2019.
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3. Kopelvski, Maycon M. ; GALEAZZO, Elisabete ; Peres, Henrique E. M. ; Ramirez-Fernandez, Francisco J. ; Dantas, Michel O. S.. Potentialities of a New Dedicated System for Real Time Field Emission Devices Characterization: A Case Study. Em: 2019 4th International Symposium on Instrumentation Systems, p. 1, 2019.
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4. SILVA, D. A. C. ; DANTAS, M. O. S. ; GALEAZZO, E. ; Peres, Henrique E. M. ; Ramirez-Fernandez, Francisco J.. Study of Oxidized-Porous Silicon as Insulating Film for HI-PS Field Emission Devices. Em: 15th Microelectronics Students Forum (SFORUM / SBMICRO 2015), p. 1-4, 2015.
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5. MORAES, MARCOS C. ; GALEAZZO, Elisabete ; PERES, HENRIQUE E.M. ; DANTAS, MICHEL O.S. ; Ramirez-Fernandez, Francisco J.. Electrical behavior of devices composed by dielectrophoretically deposited carbon nanotubes for gas sensing applications. Em: 2014 29th Symposium on Microelectronics Technology and Devices (SBMicro), p. 1-4, 2014.
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6. Dantas, Michel O. S.; GALEAZZO, Elisabete ; Peres, Henrique E. M. ; Ramirez-Fernandez, Francisco J.. Field emission enhancement achieved by selective multi-walled carbon nanotubes deposition over silicon microstructures. Em: 2014 29th Symposium on Microelectronics Technology and Devices (SBMicro), p. 1-4, 2014.
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7. MORAES, M. C. ; GALEAZZO, E. ; PERES, H. E. M. ; FERNANDEZ, F. J. R. ; DANTAS, M. O. S.. Development of Fast Response Humidity Sensors Based on Carbon Nanotubes. Em: The Fifth International Conference on Sensor Device Technologies and Applications, p. 7-10, 2014.
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8. MORAES, M. C. ; GALEAZZO, E. ; Peres, Henrique E. M. ; DANTAS, M. O. S.. Desenvolvimento de Sensores de Gás Baseados em Nanotubos de Carbono. Em: 22 Simpósio Internacional de Iniciação Científica e Tecnológica da USP (SIICUSP 2014), 2014.
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9. Dantas, Michel O. S.; GALEAZZO, Elisabete ; Peres, Henrique E. M. ; Ramirez-Fernandez, Francisco J.. Improvement of Si Field Emission Sensors Fabrication Technology by Carbon Nanotubes. Em: 14th International Meeting on Chemical Sensors (IMCS 2012), p. 1005-1008, 2012.
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10. DANTAS, M. O. S.; GALEAZZO, Elisabete ; Peres, Henrique E. M. ; Peixoto, N. ; Ramirez-Fernandez, Francisco J.. Optimization of Silicon Field Emission Devices by the Addition of Carbon Nanotubes. Em: VII Ibero-American Congress on Sensors - Ibersensor 2010, 2010.
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Resumos expandidos publicados em anais de congressos (3)
1. NASCIMENTO, J. R. ; DANTAS, M. O. S. ; GALEAZZO, E. ; FERNANDEZ, F. J. R.. Proposal of a Method for Human Activity Recognition Using a Smartphone as Sensing Element. Em: X Congresso Iberoamericano de Sensores (Ibersensor 2016), 2016, Valparaíso. X Congresso Iberoamericano de Sensores (Ibersensor 2016), 2016.
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2. FILBRICH, G. P. ; GALEAZZO, E. ; DANTAS, M. O. S. ; PERES, H. E. M. ; FERNANDEZ, F. J. R.. Measuring Volatile Organic Compounds Through an Interdigital Microsensor. Em: X Congresso Iberoamericano de Sensores (Ibersensor 2016), 2016, Valparaíso. X Congresso Iberoamericano de Sensores (Ibersensor 2016), 2016.
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3. DANTAS, M. O. S.; GALEAZZO, E. ; PERES, H. E. M. ; FERNANDEZ, F. J. R.. Towards the Development of Vacuum Pressure Sensor Based on CNT-Si Field Emission Devices. Em: VIII Ibero-American Congress on Sensors - Ibersensor 2012, 2012, Carolina, Porto Rico. 8th Ibero-American Congress on Sensors - Ibersensor 2012. New York, USA: Curran Associates, Inc, v. 421, 2012.
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Resumos publicados em anais de congressos (2)
1. Denise Criado ; Michel Oliveira da Silva Dantas ; Alejandro Zuniga ; Wellington Almeida de Assis Silva ; Flavio Leandro Souza. Growth and Characterization of ZnO nanowires for application in field emission devices. Em: XVII Brazilian MRS Meeting, 2018, Natal. Proceedings of the XVII Brazilian MRS Meeting, v. 1, p. 1-2, 2018.
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2. Kopelvski, Maycon M. ; GALEAZZO, E. ; PERES, H. E. M. ; FERNANDEZ, F. J. R. ; SILVA, D. A. C. ; DANTAS, M. O. S.. Field Emission Devices Characterization System Based on Image Mapping. Em: XXXVI Congresso Brasileiro de Aplicações de Vácuo na Indústria e na Ciência (CBRAVIC), 2015, Vitória - ES. XXXVI CBRAVIC / I WTMS - Book of Extended Abstracts, p. 70-70, 2015.
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Artigos aceitos para publicação (0)
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Produção técnica

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Trabalhos técnicos (0)
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Produção artística

Total de produção artística (0)

Orientações em andamento

Supervisão de pós-doutorado (0)
Tese de doutorado (0)
Dissertação de mestrado (0)
Monografia de conclusão de curso de aperfeiçoamento/especialização (0)
Trabalho de conclusão de curso de graduação (1)
1. LEONARDO ESTEVES ZORGI. GERAÇÃO DE ENERGIA ELÉTRICA A PARTIR DA MOVIMENTAÇÃO DE FLUÍDO GÁS NATURAL. Trabalho de Conclusão de Curso (Graduação em Engenharia de Instrumentação, Automação e Robótica) - Universidade Federal do ABC. Início: 2021.
  Orientador: Michel Oliveira da Silva Dantas.
Iniciação científica (0)
Orientações de outra natureza (0)

Supervisões e orientações concluídas

Supervisão de pós-doutorado (0)
Tese de doutorado (0)
Dissertação de mestrado (2)
1. Jonathan Reis Nacimento. Classificação de Movimentos Humanos Utilizando um Smartphone com Auxílio de Inteligencia Artificial. Dissertação (Mestrado em Engenharia Elétrica) - Universidade Federal do ABC, . 2017.
  Orientador: Michel Oliveira da Silva Dantas.
2. Débora Ariana Corrêa da Silva. OTIMIZAÇÃO DA TÉCNICA HI-PS PARA OBTENÇÃO DE DISPOSITIVOS INTEGRADOS DE EMISSÃO DE ELÉTRONS POR EFEITO DE CAMPO. Dissertação (Mestrado em Engenharia Elétrica) - Universidade Federal do ABC, Coordenação de Aperfeiçoamento de Pessoal de Nível Superior. 2016.
  Orientador: Michel Oliveira da Silva Dantas.
Monografia de conclusão de curso de aperfeiçoamento/especialização (0)
Trabalho de conclusão de curso de graduação (5)

Leonardo Esteves Zorgi. ESTUDO DE VIABILIDADE DE GERAÇÃO DE ENERGIA ELÉTRICA PARA ALIMENTAÇÃO DE INSTRUMENTAÇÃO IN LOCO A PARTIR DA MOVIMENTAÇÃO DE FLUÍDO GÁS NATURAL. (Graduação em Engenharia de Instrumentação, Automação e Robótica) - Universidade Federal do ABC. 2022.
Orientador: Michel Oliveira da Silva Dantas.
LUIZ FERNANDO MAFRA MENDES FREITAS SANTOS. MÉTODOS ANALÍTICOS E ELÉTRICOS PARA DETECÇÃO INDIRETA DE CONTAMINAÇÃO BIOLÓGICA EM ÓLEO DIESEL. (Graduação em Engenharia de Instrumentação, Automação e Robótica) - Universidade Federal do ABC. 2019.
Orientador: Michel Oliveira da Silva Dantas.
Rodrigo Alberto Domingos Donizetti. PROJETO DE MINI REFRIGERADOR COM CONTROLE DE TEMPERATURA PID PARA CONSERVAÇÃO DE IMUNOBIOLÓGICOS.. (Graduação em Engenharia de Instrumentação, Automação e Robótica) - Universidade Federal do ABC. 2018.
Orientador: Michel Oliveira da Silva Dantas.
Luiz Fernando Mafra Mendes Freitas Santos. Sensores para Identificação de Água e Contaminantes Biológicos em Combustíveis. (Graduação em Engenharia de Instrumentação, Automação e Robótica) - Universidade Federal do ABC. 2018.
Orientador: Michel Oliveira da Silva Dantas.
Eliézer Benante do Valle. Sensor Optico para Detecção de GLP. (Graduação em Engenharia de Instrumentação, Automação e Robótica) - Universidade Federal do ABC. 2016.
Orientador: Michel Oliveira da Silva Dantas.
Iniciação científica (0)
Orientações de outra natureza (3)

Bruno Rivetti Zabeu. Estágio Supervisionado. (Engenharia de Instrumentação, Automação e Robótica) - Universidade Federal do ABC. 2014.
Orientador: Michel Oliveira da Silva Dantas.
Bruno Stacco Oliva. Estagio supervisionado obrigatório. (Engenharia de Instrumentação, Automação e Robótica) - Universidade Federal do ABC. 2013.
Orientador: Michel Oliveira da Silva Dantas.
Leandro Pereira dos Santos. Supervisão de estágio. (Ciência e Tecnologia) - Universidade Federal do ABC, . 2013.
Orientador: Michel Oliveira da Silva Dantas.

Projetos de pesquisa

Total de projetos de pesquisa (5)

2022-Atual. Estudo de dispositivos, sistemas de medicao e estrategias para deteccao de compostos organicos volateis em baixas concentracoes
Descrição: Sensores de gás miniaturizados são assunto relevante devido à demanda por aplicações de baixo consumo de energia, resposta rápida e portabilidade. Em diagnóstico médico e monitoramento ambiental, há o interesse na detecção de compostos orgânicos voláteis (VOCs) e de poluentes em baixas concentrações (ppm). Neste contexto, nanomateriais, especialmente os baseados em carbono (nanotubos, grafeno, etc) são candidatos a este tipo de detecção devido a sua estabilidade química, elevada área ativa, boa condutividade térmica e elétrica, entre outras características. Apesar das vantagens, nanomateriais têm problemas como falta de seletividade e baixa sensibilidade para determinados tipos de VOCs em ppm. Configurações de dispositivos (matrizes de sensores) e técnicas de condicionamento de sinais podem ser alternativas viáveis para reduzir estes problemas. Medidas elétricas condutométricas em corrente contínua (DC) desvendam o comportamento elétrico resistivo do nanomaterial na presença de gases; medidas de corrente em sinal alternado (CA) em ampla faixa de frequências (incluindo Microondas) podem explorar também características capacitivas, estabelecendo as melhores condições de operação do sensor para melhorar sua seletividade. O sinal robusto oriundo das técnicas de condicionamento pode, ainda, ser processado matemática e computacionalmente para extração de características usadas em algoritmos de reconhecimento de padrões, melhorando a detecção e discriminação de espécies. Em resumo, a detecção de VOCs em ppm depende de: desenvolvimento de nanomateriais e dispositivos, combinação de técnicas de medição e condicionamento de sinais elétricos, e implementação de técnicas computacionais para melhora de parâmetros sensores. Neste contexto, pretende-se estudar e combinar estes campos para desenvolver dispositivos miniaturizados capazes de detectar e destacar ppm de VOCs, permitindo seu uso de maneira eficiente e pouco invasiva em aplicações médicas e de monitoramento ambiental.. Situação: Em andamento; Natureza: Pesquisa. Alunos envolvidos: Mestrado acadêmico: (1) . Integrantes: Michel Oliveira da Silva Dantas - Integrante / Ramirez-Fernandez, Francisco J. - Integrante / Elisabete Galeazzo - Coordenador / PERES, HENRIQUE E.M. - Integrante / Mauricio Oscar Perez Lisboa - Integrante / Antonio Sandro Verri - Integrante / Fatima Salete Correra - Integrante. Financiador(es): Conselho Nacional de Desenvolvimento Científico e Tecnológico - Auxílio financeiro.
Membro: Michel Oliveira da Silva Dantas.
2019-Atual. DESENVOLVIMENTO DE SENSORES MINIATURIZADOS PARA DETECCAO DE VOCs BASEADOS EM MATERIAIS NANOESTRUTURADOS
Descrição: Esta proposta de pesquisa tem como objetivo desenvolver sensores de gases compactos para detecção de Compostos Orgânicos Voláteis (VOCs ? Volatile Organic Compounds) a partir de materiais nanoestruturados obtidos por métodos de fabricação de baixa complexidade. Com este enfoque, pretende-se explorar a utilização destes nanomateriais em duas categorias de sensores miniaturizados obtidos por técnicas compatíveis com as de fabricação da microeletrônica: 1) que operam em pressão ambiente, compostos por eletrodos planares micrométricos; 2) que operam em baixa pressão (vácuo), compostos por eletrodos tridimensionais nanométricos. Para alcançar este objetivo, serão investigados métodos eficazes para a deposição ou crescimento de nanomateriais sobre dispositivos pré-fabricados (por litografia). Estes métodos incluem deposição física por gotejamento de soluções químicas contendo nanomateriais, técnicas eletroquímicas (eletroforese e dieletroforese), e técnicas de crescimento de nanoestruturas por processos térmicos. Os sensores serão caracterizados eletricamente em ambiente contendo gases específicos à pressão ambiente (eletrodos planares) e à pressão de vácuo (eletrodos tridimensionais). No primeiro caso, a capacidade de detecção de espécies gasosas será avaliada através de parâmetros como impedância ou condutividade dos sensores; no segundo, pretende-se explorar o uso dos dispositivos tridimensionais como fontes de ionização miniaturizadas para o desenvolvimento de sensores que operem pelo princípio de emissão de elétrons por efeito de campo elétrico, cujos resultados preliminares obtidos pelo proponente deste projeto se mostraram altamente promissores para a aplicação almejada [1]. Para melhorar a seletividade de detecção de gases nos dispositivos, será estudada ainda a decoração da estrutura dos nanomateriais com nanopartículas metálicas, tópico de pesquisa de alta relevância para o desenvolvimento de sensores de gases específicos [2-4]. Os resultados almejados com esta proposta serão de grande utilidade para áreas multidisciplinares como ambiental, industrial e de pesquisa acadêmica que necessitem utilizar sensores miniaturizados para detecção gasosa. Em termos acadêmicos, o projeto viabilizará a manutenção de infraestrutura e material adequado tanto para o desenvolvimento destes sensores, como para manipulação e uso de materiais nanoestruturados por técnicas de baixa complexidade e compatíveis com métodos microeletrônicos de fabricação e caracterização.. Situação: Em andamento; Natureza: Pesquisa. Integrantes: Michel Oliveira da Silva Dantas - Coordenador / Elisabete Galeazzo - Integrante / Henrique Estanislau Maldonado Peres - Integrante / Denise Criado Pereira de Souza - Integrante.
Membro: Michel Oliveira da Silva Dantas.
2014-2018. DESENVOLVIMENTO DE SENSORES DE GASES MINIATURIZADOS BASEADOS EM NANOTUBOS DE CARBONO
Descrição: Esta proposta de pesquisa tem como objetivo desenvolver sensores de gases compactos compostos por materiais nanoestruturados a partir de métodos de fabricação de baixa complexidade. Com este enfoque, pretende-se explorar a utilização de nanotubos de carbono (CNT ? Carbon Nanotubes) em sensores compostos por eletrodos planares e tridimensionais miniaturizados, obtidos por técnicas compatíveis com as de fabricação da microeletrônica. Para alcançar esta meta, serão investigados métodos eficazes para a deposição de CNT sobre dispositivos pré-fabricados por meio de técnicas eletroquímicas (eletroforese e dieletroforese), que apresentam grande eficácia com baixo custo. Para fabricação dos sensores, os CNT serão depositados sobre dois tipos de eletrodos: planares, compostos por trilhas metálicas fotolitografadas sobre substratos isolantes e ou semicondutores oxidados, e tridimensionais, compostos por matrizes de pontas de Si microusinadas por uma técnica chamada HI-PS, desenvolvida pelo proponente e colaboradores deste projeto [1]. Serão efetuadas caracterizações elétricas em ambiente contendo gases específicos à pressão ambiente (eletrodos planares) e à pressão de vácuo (eletrodos tridimensionais). No primeiro caso, a capacidade de detecção de espécies gasosas será avaliada através de parâmetros como impedância ou condutividade dos sensores; no segundo, pretende-se explorar o uso dos dispositivos tridimensionais como fontes de ionização miniaturizadas para o desenvolvimento de sensores que operem pelo princípio de emissão de elétrons por efeito de campo elétrico, cujos resultados preliminares obtidos pelo proponente deste projeto se mostraram altamente promissores para a aplicação almejada [2]. Para melhorar a seletividade de detecção de gases nos dispositivos, será estudada ainda a decoração da estrutura dos CNT com nanopartículas metálicas, tópico de pesquisa de alta relevância para o desenvolvimento de sensores de gases específicos [3, 4]. Os resultados almejados com esta proposta serão de grande utilidade para diversas áreas industriais e de pesquisa que necessitem utilizar sensores miniaturizados para detecção gasosa. Em termos acadêmicos, o projeto viabilizará a obtenção de infraestrutura e material adequado tanto para o desenvolvimento destes sensores, como para manipulação e uso de materiais nanoestruturados por técnicas de baixa complexidade e custo. Também possibilitará a formação de recursos humanos na área de desenvolvimento de sensores, como também propiciará ao proponente experiência em coordenação de projetos de pesquisa.. Situação: Concluído; Natureza: Pesquisa. Alunos envolvidos: Graduação: (2) / Mestrado acadêmico: (1) . Integrantes: Michel Oliveira da Silva Dantas - Coordenador / Elisabete Galeazzo - Integrante / Henrique Estanislau Maldonado Peres - Integrante / Francisco Javier Ramirez Fernandez - Integrante / Débora Ariana Corrêa da Silva - Integrante.
Membro: Michel Oliveira da Silva Dantas.
2014-2016. Sistema de caracterizacao eletrica de dispositivos de emissao de eletrons em tempo real
Descrição: Neste projeto é proposto um novo sistema de caracterização de dispositivos de emissão de campo (FE Field Emission devices) com objetivo de determinar a intensidade de emissão de elétrons por campo elétrico e obter um mapeamento da corrente ao longo da área ativa dos dispositivos (com configuração catodo-anodo) em tempo real durante os experimentos.. Situação: Concluído; Natureza: Pesquisa. Alunos envolvidos: Mestrado acadêmico: (1) Doutorado: (1) . Integrantes: Michel Oliveira da Silva Dantas - Integrante / Francisco Javier Ramirez Fernandez - Coordenador / Peres, Henrique E. M. - Integrante / Kopelvski, Maycon M. - Integrante / Elisabete Galeazzo - Integrante / Mauricio Oscar Perez Lisboa - Integrante. Financiador(es): Conselho Nacional de Desenvolvimento Científico e Tecnológico - Auxílio financeiro.
Membro: Michel Oliveira da Silva Dantas.
2009-2012. DESENVOLVIMENTO E APLICACAO DO DISPOSITIVO DE EMISSAO POR CAMPO ELETRICO COMPATIVEIS COM TECNOLOGIA DE FABRICACAO DE CIRCUITOS INTEGRADOS.
Descrição: O presente projeto visa o desenvolvimento de matrizes de micropontas de silício de dimensões micrométricas, fabricadas a partir do silício monocristalino, e implementadas em dispositivos de emissão de elétrons (FE). Os dispositivos obtidos, compostos por eletrodos (catodo e anodo) dispostos em configuração discreta como também integrados em um mesmo substrato, serão caracterizados eletricamente e avaliada sua função em microssistemas para detecção e análise de gases, cujo sensoriamento será baseado no princípio de ionização gasosa por impacto de elétrons. As matrizes de micropontas de silício atuarão como emissores de elétrons e serão microusinadas por meio da técnica denominada HI-PS (Hydrogen Implantation - Porous Silicon). A técnica HI-PS é uma combinação de processos de implantação iônica de hidrogênio e de anodização do silício monocristalino para formação de silício poroso em áreas seletivas do semicondutor. A eficiência do processo de emissão de elétrons dependerá da forma geométrica das micropontas, da sua rugosidade superficial, do espaçamento entre os eletrodos (cátodo e anodo) e da função trabalho do material de composição e recobrimento destes emissores. A fabricação de matrizes de micropontas de silício por meio da técnica HI-PS, além de possibilitar a integração dos eletrodos em um mesmo substrato, favorecerá sua associação com outros componentes micromecânicos, além de ser diretamente compatível com processos tecnológicos já consolidados da microeletrônica, viabilizando sua integração com circuitos eletrônicos em um mesmo chip.. Situação: Concluído; Natureza: Pesquisa. Integrantes: Michel Oliveira da Silva Dantas - Integrante / Elisabete Galeazzo - Coordenador / Peres, Henrique E. M. - Integrante / Ramirez-Fernandez, Francisco J. - Integrante. Financiador(es): Fundação de Amparo à Pesquisa do Estado de São Paulo - Auxílio financeiro. Número de produções C, T & A: 5
Membro: Michel Oliveira da Silva Dantas.

Prêmios e títulos

Total de prêmios e títulos (0)

Participação em eventos

Total de participação em eventos (4)

34th SBMicro ? Symposium on Microelectronics Technology and Devices.ZnO Nanowires Growth from Thin Zinc Films for Field Emission Purposes. 2019. (Simpósio).
4th INSCIT ? Symposium on Instrumentation Systems, Circuits and Transducers.Potentialities of a New Dedicated System for Real Time Field Emission Devices Characterization: a Case Study. 2019. (Simpósio).
14th International Meeting on Chemical Sensors.Improvement of Si Field Emission Sensors Fabrication Technology by Carbon Nanotubes. 2012. (Encontro).
24th Symposium On Microelectronics, Technology and Devices.Deposition of carbon nanotubes for field emission application. 2009. (Simpósio).

Organização de eventos

Total de organização de eventos (0)

Lista de colaborações

Colaborações endôgenas (2)

Michel Oliveira da Silva Dantas ⇔ Alejandro Andres Zuniga Paez (3.0)
KOPELVSKI, MAYCON ; SILVA, WELLINGTON ; GALEAZZO, ELISABETE ; Criado, Denise ; DANTAS, MICHEL OLIVEIRA DA SILVA ; PERES, HENRIQUE ; ZUNIGA, ALEJANDRO. ZnO Nanowire-Based Field Emission Devices Through a Microelectronic Compatible Route. JICS. JOURNAL OF INTEGRATED CIRCUITS AND SYSTEMS (ED. PORTUGUÊS). v. 15, p. 1-6, issn: 1872-0234, 2020.
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DANTAS, MICHEL O. S. ; SOUZA, DENISE C. P. ; ZUNIGA-PAEZ, ALEJANDRO A. ; SILVA, WELLINGTON A. A. ; GALEAZZO, ELISABETE ; PERES, HENRIQUE E. M. ; KOPELVSKI, MAYCON M.. ZnO Nanowires Growth from Thin Zinc Films for Field Emission Purposes. Em: 2019 34th Symposium on Microelectronics Technology and Devices (SBMicro), p. 1, 2019.
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Denise Criado ; Michel Oliveira da Silva Dantas ; Alejandro Zuniga ; Wellington Almeida de Assis Silva ; Flavio Leandro Souza. Growth and Characterization of ZnO nanowires for application in field emission devices. Em: XVII Brazilian MRS Meeting, 2018, Natal. Proceedings of the XVII Brazilian MRS Meeting, v. 1, p. 1-2, 2018.
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Michel Oliveira da Silva Dantas ⇔ Denise Criado Pereira de Souza (3.0)
KOPELVSKI, MAYCON ; SILVA, WELLINGTON ; GALEAZZO, ELISABETE ; Criado, Denise ; DANTAS, MICHEL OLIVEIRA DA SILVA ; PERES, HENRIQUE ; ZUNIGA, ALEJANDRO. ZnO Nanowire-Based Field Emission Devices Through a Microelectronic Compatible Route. JICS. JOURNAL OF INTEGRATED CIRCUITS AND SYSTEMS (ED. PORTUGUÊS). v. 15, p. 1-6, issn: 1872-0234, 2020.
[ citações Google Scholar | citações Microsoft Acadêmico | busca Google ]
DANTAS, MICHEL O. S. ; SOUZA, DENISE C. P. ; ZUNIGA-PAEZ, ALEJANDRO A. ; SILVA, WELLINGTON A. A. ; GALEAZZO, ELISABETE ; PERES, HENRIQUE E. M. ; KOPELVSKI, MAYCON M.. ZnO Nanowires Growth from Thin Zinc Films for Field Emission Purposes. Em: 2019 34th Symposium on Microelectronics Technology and Devices (SBMicro), p. 1, 2019.
[ citações Google Scholar | citações Microsoft Acadêmico | busca Google ]
Denise Criado ; Michel Oliveira da Silva Dantas ; Alejandro Zuniga ; Wellington Almeida de Assis Silva ; Flavio Leandro Souza. Growth and Characterization of ZnO nanowires for application in field emission devices. Em: XVII Brazilian MRS Meeting, 2018, Natal. Proceedings of the XVII Brazilian MRS Meeting, v. 1, p. 1-2, 2018.
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Data de processamento: 23/12/2023 13:24:08

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